초고순도불화수소 썸네일형 리스트형 일본이 막은 '초고순도 불화수소'…SK가 양산 시작 SK머티리얼즈가 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다고 17일 밝혔다. SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 성공한 후 경북 영주 공장 내 15톤 규모 생산시설을 건설하는 등 국산화 작업을 진행해왔다. 초고순도 불화수소 가스는 반도체 제조에 쓰이는 세정 가스로 반도체 공정 미세화로 수요가 급증하고 있지만 해외 의존도가 100%다. SK머터리얼즈는 이번 양산을 통해 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올린다는 목표다. 불화수소와 함께 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나섰다. SOC는 포토레지스트(감광액) 보조재로 패턴이 무너지지 않게 보호해 주는 소재며, ArF PR은 포토레지스트의 일종으로 두 제품 모두 초미.. 더보기 이전 1 다음